送液装置

特願2005-179034

 

　ポンプ部、バルブ部の構造及び機能をできるだけ単純化させ、電気化学的原理を用いて微量な流体を制御して送液する高度に集積化した送液装置を実現する。

　参照極・対極用基板、電解液蓄積板、作用極用基板、隔膜、及び流路用基板が順次重ねられ、参照極・対象極用基盤は、その表面に参照極と作用極が形成されており、電解液蓄積板は、開口部を有し、この開口部内に電解液が蓄積されており、作用極用基板は、貫通孔を有し、その内面に作用極が形成されており、隔膜は、貫通孔に面する部分がダイアフラム状に膨張可能であり、流路面基盤には、微小流路と貫通孔に対応し、隔膜が膨張して入り込める断面凸形のバルブ孔およびポンプ孔が形成されている。

 

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