プラズマジェットを用いた金属ナノ粒子の合成及び表面処理

特願2007-97829

　本発明は、低温の大気圧プラズマジェットを用いた金属微粒子の合成法及び表面処理に関するものである。金属析出、有機物の反応、フィルムはもとより閉所、管状内壁などの表面処理をそれぞれ独立に、もしくは組み合わせて行うことができ、さらにこれらのプラズマ化学反応のプラズマの種々のパラメータを制御した上で、電源スイッチにより反応速度、反応収率、生成物形態を任意に制御できる技術を提供する。

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