可変鏡形状切替による物体計測方法及びそれを用いた非走査型共焦点顕微鏡

特願2003-163223

 

　構成が簡単で計測時間を大幅に短縮する可変鏡形状切替による物体計測方法及びそれを用いた非走査型共焦点顕微鏡を実現する。

　軸方向の走査なしに物体の高さ形状を計測する単色光源による共焦点顕微鏡を作成した。ここでは共焦点顕微鏡（システム）内の可変鏡７の形状を切り替えて変化させることにより３から５種類の異なったデフォーカス発生させ、それぞれの状態における共焦点出力強度より物体の高さを決定している。可変鏡7の形状の最適化には遺伝的アルゴリズムを用い、最適化の際の指標として横方向（ｘ−ｙ面に平行な方向）の共焦点スポット形状の空間スペクトルの情報エントロピーを用いている。実際に作成したシステムを用いて計測物体の軸方向の位置を５０ナノメーターの範囲内において誤差０．６４％で計測することに成功した。

 

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