時間シアリング光コヒーレンストモグラフィー装置及び方法

特願2003-134034

 

　振動に対して安定であると共に、機械走査次元の問題を解消して計測時間の短縮を実現する。
　時間シアリング光コヒーレンストモグラフィー装置は、光源1と、光源１からの光を照射することにより、被計測試料7からの物体光と、参照光とが、スペクトル干渉するとともに、物体光及び参照光が進む共通の光路Ｐと、物体光と参照光とがスペクトル干渉することにより生じるスペクトル干渉縞を計測する分光器９と、を具備する。参照光と物体光に共通の光路Ｐを用いることで振動に対する安定性を高めている。また、時間軸のインターフェログラムを直接計測するのではなく、スペクトル領域における干渉縞を計測し、そこから時間軸のインターフェログラムを計算する方法を用いることで、深さ方向に対する機械的走査を解消している。

 

【214】