情報エントロピーを用いた波面評価方法及び装置

特願2003-110868

 

　簡単なシステムで、容易に様々な光学系に適用することができ、波面の平坦度を定量的に評価して、容易かつ確実に顕微鏡における収差の補正を行う。
　一枚のレンズ（フーリエ変換レンズ）２及び一つのＣＣＤカメラ３のみのシンプルな光学系及びデジタル信号処理装置４で実現される波面の平坦度評価装置１を用いた波面平坦度の評価方法を提案する。この装置（システム）１は極めてシンプルな光学系を持っていることから、容易に様々な光学装置に埋め込むことが可能である。その例として本発明の方法を用いて動的に収差を補正する共焦点顕微鏡装置を示す。この共焦点顕微鏡では本発明の波面評価方法をコスト関数として最適化される可変鏡を用いることでシステムにおける収差の補正を実現する。それらの結果により、本発明の評価方法の有効性が実験的に示される。

 

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