マイクロカンチレバーのばね定数実測方法

　特願2006-054035

　近年、ナノレベルの技術開発が盛んに行われているが、このような開発において原子間顕微鏡が使用されている。しかし、従来の計算方法により求めたばね常数ではその最小公称値と最大公称値は約10倍異なる。カンチレバーでの力学測定、特にナノレベルの測定を厳密に行うことは困難であった。

　本発明は研究開発の現場で、簡単かつ正確にカンチレバーのばね常数を測定する方法を提供する。従来法に比べ、より使用環境に近い状況で測定できるため、汎用性・信頼性が高く、ナノニュートンレベルの力学測定が有効数字３桁、誤差数パーセントの範囲で正確に行える。

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