電子放出分布測定装置

特願2005-270889

【課題】
　 走査型トンネル顕微鏡などにおいて、高分解能電子放出分布の測定も可能な電子放出分布測定装置方法を実現する。

【解決手段】
　 探針６を試料7に対して移動させるピエゾ素子と、試料7にバイアス電圧を印可するバイアス電圧印可回路と、探針6と試料7の間を流れるトンネル電流を電圧変化するプリアンプ１０と、プリアンプ１０の出力側に順次設けられたSTM制御回路３と、を備えており、プリアンプ１０とSTM制御回路３との間にサンプルホールド回路22を設け、STM像を計測（作成）するとともに、電子放出分布像を計測（作成）する。

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