単結晶絶縁酸化鉄膜及びその作製方法

特願2005-158211

【課題】
　平滑面を有し、N2等により特性が劣化されていない、スピンフィルタ型トンネル磁気抵抗素子のコヒーレントトンネル機構でも高効率なスピン注入が可能な、安価で高品質の単結晶絶縁酸化鉄膜の作製方法を実現する。

【解決手段】 　　　　
　真空槽３（3×１０-6Torr）内に置いた基板表面に、鉄製分が９９．９５％の金属鉄を蒸着するとともに、基板1に向けて酸化源であるオゾン成分が９０％以上のオゾンガスを前記基板表面に供給し、前記基板１（温度:２５０゜C以下）の表面に、前記鉄を酸化しながら単結晶絶縁酸化鉄膜を成膜する。

　

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