イオン電流量計測器

特願2005-108081

【課題】
　数ｋｅＶ程度のエネルギーを持つイオンを計測することができ、印可電圧を小さく抑え、かつ小型化が可能なイオン電流量計測器を提供する。

【解決手段】
　電極板とコレクターとの空間に電極板側に粒子軌道偏向部を形成し、コレクター側にイオンイオン捕集部を形成する静電遮蔽グリッドを設け、前記電極板にプラス電圧が、そして前記静電遮蔽手段にマイナス電圧を印可する手段を設ける。

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